定義不同
1、輝光放電（glow discharge）是指低壓氣體中顯示輝光的氣體放電現象，即是稀薄氣體中的自持放電（自激導電）現象
2、弧光放電是指呈現弧狀白光併產生高温的氣體放電現象。無論在稀薄氣體、金屬蒸氣或大氣中，當電源功率較大，能提供足夠大的電流（幾安到幾十安），使氣體擊穿，發出強烈光輝，產生高温（幾千到上萬度），這種氣體自持放電的形式就是弧光放電
原理機制不同
1、輝光放電是種低氣壓放電(Low pressure discharge)現象，工作壓力一般都低於10 mbar，其基本構造是在封閉的容器內放置兩個平行的電極板，利用產生的電子將中性原子或分子激發，而被激發的粒子由激發態降回基態時會以光的形式釋放出能量
2、弧光放電的產生機制是使兩電極接觸後隨即分開，因短路發熱，使陰極表面温度陡增，產生熱電子發射 。熱電子發射使碰撞電離及陰極的二次電子發射急劇增加，從而使兩極間的氣體具有良好的導電性
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