1、光刻機 高精度光刻機
2、刻蝕設備 前三家廠商LAM、東京電子、應用材料市佔率超過90%
3、鍍膜設備 分為PVD和CVD
4、量測設備 主要包括自動檢測設備(ATE)、分選機、探針台等。
5、清洗設備 主要設備廠商SCREEN、東京電子、LAM合計佔比88%
6、離子注入設備。