臭氧能滲透到細菌或病毒中,使其變成酵素。而RNA 、溶黴菌等物質會被分解,DNA 則於受損後被擊潰。
臭氧的殺菌力為氯的 3000 倍,消毒力為甲酚原液的 30 倍。細菌以蛋白質、 RNA、 DNA為主要成分,由多糖類、蛋白質、脂質等構成。病毒則是由蛋白質、 RNA、DNA所構成。要使細菌或病毒死亡以及不活性化,必須損傷其成分或加以破壞、分解。