工業抽真空技術標準

標準:當氣室內真空度至50Pa時，停止抽真空。然後維持2h，進行真空保持和真空度比較檢漏。如果氣室真空度不變，證明氣室密封良好。如果發現真空度下降，則要找到漏氣點，進行處理。

一般採用氣泡法檢漏，即給真空檢漏不合格的氣室充入高純氮氣至0.3MPa，然後靜置2h，用肥皂水塗滿所有密封面及焊縫處，根據肥皂水在漏氣點產生的氣泡而發現漏點。

對發現漏點的氣室進行妥善處理後，要再次進行抽真空和真空檢漏的步驟，直到檢漏合格。