kmate射頻電源設置方法:
檢查射頻電源是否輸出正常,入射功率和反射功率比較。如果入射正常,反射很大,檢查匹配器。
如果入射功率不能達到設定功率,過小,檢查射頻電源是否燒燬。
若射頻電源和匹配都工作,將氣體流量加大,中和器打開,再測