臭氧濃度是指單位體積內臭氧所佔的含量。採用質量比單位mg/L,g/m3,採用體積比單位1%,5%等,衞生部門常使用ppm這個單位。以上這些單位常用於標註臭氧發生器出口濃度或大氣臭氧濃度。
臭氧濃度表示了臭氧製備設備產生臭氧的能力,是指單位體積內臭氧的重量之和,這個值越大,表示臭氧製備設備產生臭氧的速度越快。