防靜電等級,可分為基本抗靜電級、抗靜電級、導靜電級三個等級。各行業防靜電標準一般是按 IEC和ANSI/ESD兩個標準制定的。
1、基本抗靜電級:表面阻抗值(surface electric resistance):10 +9 ~ 10 +12 ohm。
2、抗靜電級(靜電消散):表面阻抗值(surface electric resistance):10 +6 ~ 10 +9 ohm。
3、導靜電級:表面阻抗值(surface electric resistance):10 +4 ~ 10 +6 ohm。
在高精密度之室內,如晶圓生產線、開刀房、彈藥庫等,靜電不可聚之集場所,必需經由導靜電級地材宣泄靜電,以避免發生危險。