目前精度可達0.001mm級,表面質量也接近磨削水平。
一般磨削為Ra1.25~0.16微米。電火花線切割機(Wire Electrical Discharge Machining簡稱WEDM),屬電加工範疇,是由前蘇聯拉扎聯科夫婦研究開關觸點受火花放電腐蝕損壞的現象和原因時,發現電火花的瞬時高温可以使局部的金屬熔化、氧化而被腐蝕掉,從而開創和發明了電火花加工方法。