1、將真空泵與其管道分離，用真空計直接測量真空泵進氣口，如果泵真空度達到使用標準就排除了泵漏氣的可能
2、檢測管道的方法:把管道或管道某一段取下，將其中一頭接在不漏氣的泵上，另一頭用真空計測量，通過這個方法檢測能夠分清漏氣點
3、金屬真空系統易漏氣的部位有:焊縫起焊及收焊部位，兩條焊縫交叉點，波紋管焊接部位，管接頭焊縫，受運動影響的釺焊縫。
(1)密封圈漏氣。解決方案：檢查所有密封部位的密封情況，更換破損的密封圈
(2)氣鎮閥墊圈損壞或未擰緊。解決方案：更換墊圈並擰緊氣鎮閥
(3)排氣閥片損壞，密封不好。解決方案：更換氣閥片
(4)真空泵中隔板壓入時過盈量太大，造成真空泵腔變形而漏氣。解決方案：修整真空泵腔或更換。
(5)由於真空泵的端面油密封不良造成漏氣。解決方案：拆開端蓋，檢查是否有雜物或不平整，並進行清洗或修理。
(6)轉子彈簧變形或折斷及旋片動作不靈。解決方案：整修或更換彈簧變形，使轉子積旋片配合良好
(7) 進氣口的過濾網被堵塞。解決方案：取下過濾網清洗乾淨，再裝上去。
(8)因加工不良或磨損造成配合間隙過大。解決方案：檢查真空泵腔、轉子、旋片、端蓋板之間的配合間隙，投規定的精度要求進行修復或更換。
(9)真空泵運轉中摩擦發熱。温升太高，使真空泵油變稀，密封性變差。解決方案：通冷卻水或用電風扇降温，同時，檢查有關部件配合間隙並按規定精度要求進行修理或更換。
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