一、等離子清洗機不發光
可能原因：1真空泵是否正常運行2、射頻電源主板燒壞
處理措施：1、真空泵是否正常工作，查看真空壓力表值是否達到正常壓力值如不能達到正常壓強，則代表氣路有漏氣需重新檢查氣路是否固定好2、打開設備右側面板，檢查射頻電源主板綠色燈在設備正常運行下是否亮，如果不亮，請聯繫東信高科售後人員進行更換。
二、真空泵不工作
可能原因：1、真空泵油不足2、電機燒壞3、真空泵磨損
處理措施：1、清洗後，添加真空泵油2、請聯繫我公司客服
三、清洗效果不良
可能原因：1、等離子功率不夠2、選用不適合的反應氣體
解決措施：1、調節功率旋鈕，提高功率2、工藝氣體是否匹配合理3、諮詢我公司客服
四、真空泵熱過載保護，請檢查線路和真空泵故障
1、出現此情況請首先觀察系統參數有無變化，設備突然斷電會引起系統參數歸零，導致設備出現此類報警
2、如系統參數無變化，請確認熱繼電器是否自動保護，按復位鍵，然後啟動真空發生系統。如沒有自動保護，請檢查電氣線路有無斷路或短路情況
3、檢查導線是否有斷路或短路情況
4、如無上述異常，請檢查真空泵
五、放空氣體壓力過低，請檢查氣體是否開啟或氣體是否耗盡
1、如出現此類報警請檢查腔體底部的破真空所用氣路電磁閥是否正常工作，線路有無斷路或短路
六、真空泵倒計時故障（機械故障），請檢查真空泵抽空能力，故障排除點擊復位鍵
1、所處理產品有嚴重滲氣情況，真空倒計時時間設備較短，無法在設備時間內抽到背底真空
2、檢查真空門是否關到位
3、逐級檢查真空系統中各連接點，看是否有管道連接不良或損壞
4、真空泵故障，需檢查保養真空泵
七、真空計故障報警，真空計故障或損壞，請檢查並更換真空計
1、檢查真空計是否損壞，檢查真空計控制線路是否有斷路或短路
八、急停未復位或已按下，請打開急停開關
1、檢查急停是否被按下，如沒有此情況，請檢查急停線路
九、 CDA壓力過低報警（破空氣體壓力低）
1、此報警為壓縮空氣氣壓不足夠報警，主要出現於配有高真空氣動擋板閥（GDQ）的設備，出現此報警時需檢查CDA是否正常供氣至設備端
2、確認供氣壓力是否過高或過低，減壓表的報警值是否設定正確
3、檢查電氣線路是否出現斷路或短路
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