綠碳化硅是以石油焦和優異硅石為主要原料,添加食鹽作為添加劑,碳化硅含量不少於99%,外觀結晶呈綠色光澤,通過電阻爐高温冶煉而成。綠碳化硅微粉吸入過多會造成肺感染,綠碳化硅微粉對人體有害:身體直接接觸沒發現大的損害,少數人可能出現皮膚過敏現象。
較少量得對身體不會有什麼傷害,若吸入過多,或是經常暴露在碳化硅粉末中的,可能會造成塵肺病,在2815°C的温度下開始分離,但在常壓下不溶化。因此綠碳化硅微粉對人體有害。