對於干涉條紋可目視、測量讀數。本儀器工作基於雙光束等厚干涉原理
波長為的單色光經過儀器有關的光學系統後成為平面波M。經儀器的標準平面P1和被檢系統P2反射為平面波M1和M2。M1、M2即為兩相干光波,重疊後即產生等厚干涉條紋。
等厚干涉原理能夠產生干涉的光束,叫相干光。