很多電子元件都含有貴金屬。
通常在芯片上沉積其它金屬或化合物,既金屬靶材,行業用的金屬濺射靶材,主要種類包括:銅、鉭、鋁、鈦、鈷和鎢等高純濺射靶材,以及鎳鉑、鎢鈦等合金類的金屬濺射靶材,還有就是光刻機通常會用到錫。不光是芯片,很多電路板會用到金銀等貴金屬,比如電路板的各種觸點為了導電性更好必須用貴金屬。