先關閉儲液器上的出液閥後開機,待低壓壓力穩定在0稍微以下一點時,關閉壓縮機的排氣閥,在即將關閉終了時停止壓縮機運轉。最後再關閉儲液器上的進液閥,收氟完畢。
利用自身壓縮機抽真空:
先打開壓縮機排氣閥上通大氣的旁通閥(或者旁通口)後啟動壓縮機運轉,再分別打開壓縮機的吸氣閥、節流閥(膨脹閥)前後的關閉閥及低壓側所有通向壓縮機的各個閥門,待低壓表完全穩定在最低真空度後停止壓縮機運轉。打開儲液器上的進液閥,讓儲液器裏的高壓氣體返回冷凝器至壓縮機的旁通口放出數秒鐘後再關閉旁通閥或者旁通口,系統除儲液器外全部真空完畢(冷凝器及與壓縮機的連接管路是通過排氣方式排除不凝性氣體的)。
注意:螺桿式和渦旋式壓縮機不宜進行自身抽真空。