真空泵温度太高。
1、被抽氣體温度過高。在進入真空泵之前讓氣體冷卻。
2、吸入硬物磨損真空泵體。必須拆卸真空泵,清除硬物,修理或更換劃傷零件。3、真空泵流量的冷卻水不夠。冷卻水必須加流量。
4、安裝不當導致轉子軸移動,造成一側磨損。檢查時必須拆卸並重新組裝。