潔淨室amc什麼意思

AMC：空氣分子污染物 。

潔淨室環境中的空氣分子污染物AMC，內部來自建築材料釋出、設備和材料釋出、腐蝕和光刻等工藝過程中化學藥品逸散、人員產生、管路泄露、設備維護修理時散發等，外部來自環境空氣中存在的氣相污染物，以及潔淨室的廢氣排放重新送回潔淨室。