真空泵的分類:
按工作原理分類:
1、氣體輸送泵,包括變容真空泵、動量傳輸泵
2、氣體捕集泵,包括吸附泵、吸氣劑泵、吸氣劑離子泵、低温泵。
按真空度分類:
1、粗真空度
2、高真空度,包括滑閥式真空泵、旋片式真空泵、羅茨真空泵
3、超高真空度。