1)塵埃粒子最高允許數(每立方米):
大或等於0.5微米的粒子數不能超出3500000個,大或等於5微米的粒子數不能超出20000個
2)微生物最高允許數:
浮游菌數不能超出500個每立方米沉降菌數不能超出10個每培養皿。
3)壓差:
相同潔淨度等級的潔淨車間壓差保持一致,對於不同潔淨等級的相鄰潔淨車間之間壓差要≥5Pa,潔淨車間與非潔淨車間之間要≥10Pa。
4)溫度、溼度:
10萬級無塵室對溫度、溼度無特殊要求時,以穿着潔淨服不產生舒適感爲宜,溫度一般控制在秋冬季20~22℃春夏季24~26℃波動±2℃。秋冬季潔淨車間空氣溼度控制在30-50%,春夏季潔淨車間空氣溼度控制在50-70%。
5)配電:
潔淨室(區)的主要生產用地一般照度值宜≥300Lx輔助工作室、人員潔淨和物料潔淨用室、氣閘室、過道等的照度值宜爲200~300Lx。
6)噪聲控制:
一、動態檢測時,萬級無塵室內的噪音級不得超出70分貝A。
二、靜態檢測時,萬級亂流無塵室的噪音級不能超出60分貝A。
7)送風方式:
氣流組織10萬級無塵室主要採用的送風方式有以下三種:
1、局部孔板頂棚送風
2、帶擴散板高效空氣過濾器頂棚送風
3、上側牆送風 等三種送風方式。
8)迴風方式:
10萬級無塵室主要採用的迴風方式主要有:
1、單側牆下部佈置迴風口
2、當採用過道迴風時,在過道內均勻佈置迴風口或在過道端部集中設定迴風口。
9)風口風速:
送風口風速米/秒:
1、孔板孔口3~5
2、側送風口:
(1)貼附射流2~5
(2)非貼附射流同側牆下部迴風1.5~2.5,對側牆下部迴風1.0~1.5。
迴風口風速(米/秒):
1、無塵室迴風口不超2
2、過道內迴風口不超4。