半導體中POLY做什麼工藝半導體中POLY是做多晶硅工藝。
多晶硅(POLY)在半導體器件製造過程中,應用非常廣泛,主要用為柵極、互連、填充材料。如在平面IGBT器件中,多晶硅用於柵極和互連材料溝槽柵 IGBT產品製造過程中,多晶硅來用作溝槽填充材料。