硅料生产制备共有五大类，分别为冷氢化反应器、还原炉、塔器、换热器、球罐。
压力容器可分为反应、换热、分离、储存压力容器。还原炉为改良西门子法多晶硅核心生产设备，价值量与数量占比最高。
制备硅片主要包括长晶、截断切方、测试分选四个环节，其中，长晶与切片为核心环节。单晶硅的制备由多晶硅料通过直拉法或者区熔法制成，其中直拉法进一步分为多次直拉法、连续直拉法、磁场直拉法，目前直拉法正由RCZ 向CCZ 过渡
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