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  • evu與euv區別
    發表於:2024-01-10
    evu是英文evaporationunit的縮寫,意思是蒸發設備euv是英文extremeultra-violet的縮寫,意思是極紫外光刻,是一種以波長為10-14納米的極紫外光作為光源的光刻技術。...