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  • bpsg是什麼化學物質
    發表於:2024-03-06
    硼磷硅酸鹽玻璃BPSG材料是有機磷、硼化合物,包括:TMB/TMP/TMPO/TEB/TEPO性質:均為無色有刺激性氣味的液體。應用:用於晶圓製造過程中與TEOS混合,通過CVD工藝沉積。硼磷硅玻璃(Boro-phospho-...