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  • rga殘餘氣體分析儀原理
    發表於:2024-02-29
    殘餘氣體分析儀是在真空腔內利用RGA離子分化器將氣體分子電離,電離後的帶電粒子進入四極杆產生的偏轉電場內,由於不同的粒子質量數不一樣,在一定的電場作用下所形成的偏轉半徑就不一樣。R...