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wafer測試流程詳解

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wafer測試流程詳解

每顆IC在後工序之前都必須進行CP(Chip Prober),以驗證產品的功能是否正常,並挑出不良的產品和區分性能等級。CP主要設備包括測試機(Tester)和探針台(Prober)。

測試機

主要包括測試主機、測試板(DUT板)、測試軟體、數據線、PC主機等。

操作:1. 確認DUT板、數據線連接正確

2、 打開電源,啟動PC,進入測試軟體

3、 打開測試程序

4、 打開測試主機電源,此時PC上會顯示系統初始化。

探針卡

主要部件:真空泵、探針卡、顯微鏡、打點器、操作軟件、8''至4''真空旋鈕、托盤(Tray)、旋轉手輪等。

測試前操作:

1、 確認真空泵和主機電源打開,打開軟體初始化系統

2、 進入掃描模式,移動Tray到一個角落安裝prober card。將prober card安裝在探針台上,一端對齊固定架並固定好,整理好數據線,引出接在DUT板上,並注意對應好標號

3、 調整預置高度使之降低為0(防止上片時把prober和wafer刮壞)

4、 清潔工作盤,確認測試wafer size並調節真空旋鈕,帶好手套講被測wafer放入tray正中央(先確認wafer缺口方向使IC pin與探針相對應),用真空使wafer吸附在tray上

5、 進片,調整預置高度(針壓),邊上升高度(探針卡固定,tray上升)邊觀察wafer離probercard的距離,調整到適當的距離時停止上升(wafer和prober距離不能太近以防wafer刮到prober),調節顯微鏡調到最清晰的視窗,然後把wafer的水平位置掃直

6、 填寫測試數據,包括wafer size、X、Y步距、測試方法和測試map數據等等(注意X、Y的移動距離、多測的排列順序應該與prober card的site的排列順序一致)

7、 對針痕,微動模式移動wafer,使針尖對準die pad,慢慢調整預置高度(針壓),直到可以在die pad上扎出針痕(注意針痕不能太重,高度只能一點一點增加,直至出現針痕馬上停止),微動調整針痕的位置,使之一定紮在die pad的中心位置。如果是就得針卡可能會出現個別pad扎不出針痕或不明顯,此時一定要查明原因,不能盲目加針壓,看是否針尖偏了或短了

8、 在wafer周圍扎一次針,觀察針痕是否偏離,以確認水平是否掃直

9、 找到測試第一點位置,單步移動wafer使第一點位置與prober card第一site位置相對應

10、 測試開始。測試過程要注意觀察是否連續不良或間隔不良,不良時要及時停止觀察針痕位置。測試完成後對壞點重測,載入的數據一定是最後測完的數。

打點操作:

1、 打點時先更改打點參數,打開打點器並更改步進數值。

2、 打點器調整可以在wafer 上沒有die的位置試打,使墨點的大小適中,然後單步移動到邊圈有die的位置試打,墨點一定要打在die的中間位置,大小適中。調整玩抽,用無塵布加酒精把 wafer擦拭乾淨

3、 移動到第一點位置,載入數據開始打點。開始打點時立即停止並檢查載入的數據和墨點是否正確,正確則繼續打點,否則調整。打點時一定要用顯微鏡觀察是否漏打或墨點是否變化。

4、 打點完成後在120℃烤箱內烤40min。