SiHCⅠ3是三氯硅烷的化學式,它的相對分子質量為:28+1+35.5x3=135.5。三氯硅烷又叫硅仿,常温常壓下為具有刺激性惡臭、易流動、易揮發、易潮解的無色透明液體,易溶苯、醚、氯仿和二硫化碳等有機溶劑。三氯硅烷是硅產品系列中最重要的中間產物,它是製造多晶硅的重要原料。在太陽能光伏方面和電子信息產業方面有着重要的意義。