區別是:三氯氫硅,又稱三氯硅烷,是一種無機物,在常温下為具有刺激性氯化氫氣味易流動易揮發的無色透明液體。在空氣中極易燃燒,遇明火則強烈燃燒,燃燒時發出紅色火焰和白色煙。它是高分子有機硅化合物的原料。而工業硅又稱金屬硅,是由硅石和碳質還原劑在礦熱爐內冶煉成的產品,主成分硅元素的含量在98%左右,其餘雜質為鐵、鋁、鈣等。