三氯氫硅沸點壓力對照表

沸點(101.325kPa壓力下):31.8℃。

熔點(101.325kPa):-134℃液體密度(0℃):1350kg/m3相對密度(氣體，空氣=1):4.7蒸氣壓(-16.4℃):13.3kPa(14.5℃):53.3kPa燃點:-14℃自燃點:104.4℃閃點:-27.8℃爆炸極限:1.2~90.5%毒性級別:3易燃性級別:4易爆性級別:2

三氯硅烷在常温常壓下為具有刺激性氯化氫氣味易流動易揮發的無色透明液體。在空氣中極易燃燒，在-18℃以下也有着火的危險，遇明火則強烈燃燒，燃燒時發出紅色火焰和白色煙，生成和Cl2。