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玻璃磁控濺射鍍對環境有污染沒

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玻璃磁控濺射鍍對環境有污染沒

磁控濺射儀當然有污染。

1、可見光波段:陰極發射的電子電離介質氣體分子,分子/原子光譜。

這些光密度不大,不至於刺傷鈦合金狗眼. 屬於無害輻射

2、不可見光波段:陰極發射的電子電離介質氣體分子,紅外/紫外,分子/原子光譜。 紫外輻射有害

3、X射線:氣體電離後的離子,在陰極加速場作用,轟擊陰極靶材,作用區也比較複雜,除了實現離子刻蝕濺射以外,還有類似掃描電鏡類似的散射出現,如二次電子,二次離子,及各種射線輻射。