磁控濺射儀當然有污染。
1、可見光波段:陰極發射的電子電離介質氣體分子,分子/原子光譜。
這些光密度不大,不至於刺傷鈦合金狗眼. 屬於無害輻射。
2、不可見光波段:陰極發射的電子電離介質氣體分子,紅外/紫外,分子/原子光譜。 紫外輻射有害
3、X射線:氣體電離後的離子,在陰極加速場作用,轟擊陰極靶材,作用區也比較複雜,除了實現離子刻蝕濺射以外,還有類似掃描電鏡類似的散射出現,如二次電子,二次離子,及各種射線輻射。