白色。氧化硅,分子式SiO,不溶於水。氧化硅鍵長為150.7pm。氧化硅在硅片上呈現白色。氧化硅不太穩定,在空氣中會氧化成二氧化硅,僅在高於1200℃才穩定。氧化硅能溶於氫氟酸和硝酸的混合酸,其中並放出四氟化硅。一般它可由二氧化硅在真空中1300℃高温下與純硅作用後迅速冷卻製得。