硅片分：優等品、合格品、不合格品。具體標準如下：
一、優等品
1：硅片表面光滑潔淨。
2：TV：220±20μm。
3：幾何尺寸：
邊長125±0.5mm對角150±0.5mm、148±0.5mm、165±0.5mm
邊長103±0.5mm、對角135±0.5mm
邊長150±0.5mm、156±0.5mm、對角203±0.5mm、200±0.5mm。
同心度：任意兩個弧的弦長之差≤1mm。
垂直度：任意兩邊的夾角：90°±0.3。
二、合格品
一級品：
1：表面有少許污漬、輕微線痕。
2：220±20μm ≤TV≤220±30μm。
3：幾何尺寸：
邊長125±0.5mm對角150±0.5mm、148±0.5mm、165±0.5mm
邊長103±0.5mm、對角135±0.5mm
邊長150±0.5mm、156±0.5mm、對角203±0.5mm、200±0.5mm。
同心度：任意兩個弧的弦長之差≤1.2mm。
垂直度：任意兩邊的夾角：90°±0.5，cheap radii shoes。
二級品：
1：表面有少許污漬、線痕、凹痕，輕微崩邊。
2：220±30μm ≤TV≤220±40μm。
3：凹痕：硅片表面凹痕之和≤30μm。
4：崩邊範圍：崩邊口不是三角形狀，崩邊口長度≤1mm，深度≤0.5mm
5：幾何尺寸：
邊長125±0.52mm對角150±0.52mm、148±0.52mm、165±0.52mm
邊長103±0.52mm、對角135±0.52mm
邊長150±0.52mm、156±0.52mm、對角203±0.52mm、200±0.52mm。
同心度：任意兩個弧的弦長之差≤1.5mm。
垂直度：任意兩邊的夾角：90°±0.8。
三級品：
1：表面有油污但硅片顏色不發黑，有線痕和硅落現象。
2：220±40μm ≤TV≤220±60μm。
3：硅落：整張硅片邊緣硅晶脱落或部分硅晶脱落。
三、不合格品
嚴重線痕、厚薄片：TV>220±60μm。
崩邊片：有缺損但可以改Φ103的硅片。
氣孔片：硅片中間有穿孔。
外形片：切方滾圓未能磨出的硅片。
倒角片(同心度)：任意兩個弧的弦長之差>1.5mm。
菱形片(垂直度)：任意兩邊的夾角>90°±0.8。
凹痕片：硅片兩面凹痕之和>30μm。
髒片：硅片表面有嚴重污漬且發黃發黑。
尺寸偏差片：幾何尺寸超過二級品的範圍。
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