vmb什麼意思

VMB在特氣系統中是特氣分配到各工藝用氣點的氣體設備

特氣系統是保證半導體、集成電路、太陽能電池、光纖和科研實驗室等高新型技術行業中特種氣體的安全穩定輸送的供氣系統

特種氣體，簡稱特氣，又名電子特氣，是生產半導體、集成電路、太陽能電池等電子產品的特殊氣體，這些特殊氣體大多都是易燃易爆、有毒、腐蝕性、氧化性等性質的危險性氣體，如硅烷SiH4、笑氣N2O等。