硅及其硅的化合物本身沒有任何易燃的可能,可是在生產硅單質及硅類化合物的過程中,其最終產品中含有雜質。這些雜質中含有磷和硫。如果雜質中磷和硫的含量積聚到一定程度,肯定會發生自燃,因為磷這種物質就會自燃。
當然企業在生產過程中會極力降低磷和硫的含量,不過畢竟不能完全消除這兩種物質,所以自燃現象會偶然發生。