為了降低晶體硅太陽電池的製造成本,並提高電池的光電轉換效率,對太陽電池表面鈍化技術的研究具有重要意義。
基於ALD技術在通過表面鈍化提高晶硅太陽能電池轉化效率方面的良好表現,ALD技術已開始進入光伏行業。