EUV是什麼意思

極紫外光刻(英語:Extremeultravioletlithography，也稱EUV或EUVL)是一種使用極紫外(EUV)波長的下一代光刻技術，其波長為13.5納米，預計將於2020年得到廣泛應用。幾乎所有的光學材料對13.5nm波長的極紫外光都有很強的吸收，因此，EUV光刻機的光學系統只有使用反光鏡 。

EUV是指紫外光的意思。

極紫外線光刻機是芯片生產工具，是生產大規模集成電路的核心設備，對芯片工藝有着決定性的影響。小於5納米的芯片晶圓，只能用EUV光刻機生產。