美國能源研究學會在一份説明中解釋説:“氦氣是一種惰性氣體,很難和其他成分起反應,這讓其成為半導體制造中很理想的材料。
在硅片周遭裹上惰性氣體,可以避免出現意料之外的反應。
另外,由於氦氣具有高導熱性,它還能高效散熱,這可以在半導體制造過程中降低硅片的温度,能讓半導體的體積變得更小。”
氦氣在半導體、液晶面板和光纖線製造中起着重要作用,可實現零部件的快速冷卻,從而提高生產率,還能控制熱傳遞速率,以改善生產效率並減少缺陷此外,氦氣還可在生產過程中充當載運氣體。