vn電子束焊設備的真空測量tv
用以定量地得知低壓空間氣
體稀薄程度（即真空度)所用的測量
儀器稱真空計。
目前真空計的種類繁多。從
不同角度出發、有不同的分類方
法。一般按真空計的刻度方法可
分為。
絕對真空計——根據真空計
算出壓力值的真空計。如壓縮式
真空計（或稱麥氏真空計）、熱輻
射真空計等。
相對真空計——通過與壓力
有關的物理量間接測量、不能通
過計算進行刻度，必須與絕對真
空計相比較進行刻度的真空計。
如熱傳導真空計、電離真空計
等。
根據真空測量的特點，對電
子束焊機中的真空計有以下幾點
要求
1、量程要寬。由於電子束焊
機中真空度範圍較寬、如果真空
計的量程寬些，則給測量工作帶
來很大方便。
2、要有足夠的精度。由於真
空測量不可能象其它測量那樣有
很高的精度，誤差較大，對電子
束焊機中的真空測量來講，一般
要求真空計的相對誤差20%就
可以了。
3、能連續測量、反應迅速。
以便能實現真空系統的自動控
制。
4、對外界條件(如温度、振
動、電磁場)不敏感。
現對電子束焊機中常用的幾
種真空計的使用特點介紹如下。
1、壓縮式真空計。壓縮式真
空計也稱為麥克勞真空計(麥式真
空計）。一般測量範圍為1.33×10
—1.33×10—2Pa，其結構形式還
有寬量程、雙管式和旋轉式等區
別。
2、熱傳導真空計。是利用氣
體分子的熱傳導在某一壓力範圍
內與氣體壓力成正比關係的原理
製成的，因此根據熱傳導的變化
就能反映出壓力的變化。
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熱傳導真空計又分為電阻~真
空計和熱電偶真空計兩種形式。
這兩種真空計的測量範圍一般為
1、33×102 1.33×10—2Pa左右、
其特點是兩種真空計都屬於相對
真空計。可以連續測量、但受環
境影響較大。
3、電離真空計。對低於
1、33×10-1Pa的低壓測量時、通
常採用電離真空計。由於電離源
不同、又可分為熱陰極、冷陰極
和放射性電離真空計。
(1)熱陰極電離真空計、其測
量範圍為1.33×10-1~1.33×10-
6Pa、可以連續測量。屬於相對真
空計。該真空計使用時應該注意
的是。由於有熱陰極存在。就有
吸氣放氣現象產生而影響測量的
準確性。而且在壓力高於
1、33×10-1Pa時不能進行測量
否則陰極就要被燒壞。
~(2)冷陰極電離真空計。這
種真
品位站
