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國內目前光刻機處於怎樣的水平
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我國的光刻機技術仍然處於低端水平,上海微電子的光刻機代表我國光刻機的最高水平,製程工藝為90nm,而ASML的光刻機已經進入5nm的製程工藝,我國的高端光刻機全部依靠進口
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光刻機
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