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关于C4F6的时尚知识

关于C4F6的时尚知识

C4F6是什么气体

发表于：2024-04-04

全氟丁二烯(C4F6，六氟丁二烯，六氟-1，3-丁二烯)作为一种温室效应GWP极低，绿色环保的高效干蚀刻气体，用于半导体产品的等离子介质刻蚀，具有更快刻蚀速率、更高选择性和更高精确性，更适合于高深...

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