关于mems的时尚知识

什么是mems技术

发表于：2024-03-24

MEMS就是将传统传感器的机械部件微型化后，通过三维堆叠技术，例如三维硅穿孔TSV等技术把器件固定在硅晶元(wafer)上。最后根据不同的应用场合采用特殊定制的封装形式，最终切割组装而成的硅...
MEMS技术

发表于：2024-02-02

光刻是将制作在光刻掩模上的图形转移（PatternTransfer）到衬底的表面上。无论加工何种微器件，微加工工艺都可以分解成薄膜淀积，光刻和刻蚀这三个工艺步骤的一个或者多个循环。光刻在MEMS制...
MEMS与传感器的关系

发表于：2024-02-23

答MEMS与传感器的关系如下:MEMS，(英语全称为MicroelectromechanicalSystems)，翻译成中文就是“微机电系统”。MEMS是一种将微电子技术与机械工程融合到一起的工业技术，MEMS的发展涉及并影...
mems陀螺仪工作原理

发表于：2024-01-30

利用相互正交的振动和转动引起的交变科里奥利力。memS陀螺仪（Micro-Electro-MechanicalSystems）是指集机械元素、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源...
mems晶圆制造前景

发表于：2024-01-06

前景非常好。MEMS产品主要可以分为MEMS传感器和MEMS执行器。其中传感器是用于探测和检测物理、化学、生物等现象和信号的器件，而执行器是用于实现机械运动、力和扭矩等行为的器件。MEMS...