氧化矽和氮化矽哪種更好

氮化矽更好。

氮化矽膜與氧化矽膜相比較具有表面化學效能穩定等優點，故氮化矽膜可用於半導體工業。

氮化矽是一種無機物，化學式為Si3N4。它是一種重要的結構陶瓷材料，硬度大，本身具有潤滑性，並且耐磨損，為原子晶體高溫時抗氧化。而且它還能抵抗冷熱衝擊，在空氣中加熱到1000℃以上，急劇冷卻再急劇加熱，也不會碎裂。

氧化矽（俗稱氣相白碳黑）

產品為人工合成物無定形白色流動性粉末，具有各種比表面積和容積嚴格的粒度分佈。本產品是一種白色、鬆散、無定形、無毒、無味、無嗅，無汙染的非金屬氧化物。