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關於pecvd的時尚知識

關於pecvd的時尚知識

pecvd工序高温危險源有哪些

發表於：2024-01-16

•&nbsp危險特性：易燃，與空氣混合能形成爆炸性混合物，遇明火、高熱能引起燃燒、爆炸，與氟、氯等接觸會發生劇烈的化學反應，若遇高熱，容器內壓增大，有開裂和爆炸的危險。危險類別：易燃易爆預防...
ald工藝和pecvd工藝的對比

發表於：2024-01-07

ALD工藝直接在芯片表面堆積材料，一次沉積單層薄膜幾分之一的厚度，以儘可能生成最薄、最均勻的薄膜。工藝的自限特性以及共形沉積的相關能力，是其成為微縮與3D技術推動因素的基礎。自限式...

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