1、在光學領域:中頻閉場非平衡磁控濺射技術也應用於光學薄膜(如減反射膜)、低輻射玻璃和透明導電玻璃。
2、在裝飾領域的應用,如各種全反射膜和半透明膜,如手機外殼、鼠標等。
3、作為一種非熱塗層技術,應用於微電子領域。各種功能膜:如具有吸收、透射、反射、折射、偏振等功能的膜。例如,在低温下沉積氮化硅增透膜以提高太陽能電池的光電轉換效率。
化學氣相沉積(CVD)難以生長,不適合材料薄膜沉積,並且可以獲得大面積非常均勻的薄膜。
5、在高温超導薄膜、鐵電薄膜、巨磁阻薄膜、薄膜發光材料、太陽能電池和記憶合金薄膜的研究中發揮着重要作用。
6、在機械加工行業,表面功能膜、超硬膜和自潤滑膜的表面沉積技術自誕生以來取得了長足進步,可有效提高表面硬度、複合韌性、耐磨性和高温化學穩定性,從而大大提高塗層產品的使用壽命。