晶圓搬運機械手原理

伯努利原理。

晶圓搬運機械手的原理是伯努利吸附原理。伯努利原理可以表述為：在水流或氣流裏，如果速度小，壓強就大，如果速度大，壓強就小。伯努利機械手的噴氣口中噴出的氣體遇到圓盤的表面後，氣體自圓盤上表面迅速擴散，使得圓盤上表面的氣流速度大於下表面的氣流速度，此時圓盤下表面的氣壓大於圓盤上表面的氣壓，因而使圓盤被吸附在伯努利機械手上。伯努利機械手通過伯努利原理吸附晶圓，把晶圓放在具有真空吸附功能的真空卡盤上後，機械手放開晶圓。同時真空卡盤通過多孔真空吸附把晶圓吸附到真空卡盤上。工藝結束後真空卡盤停止真空吸附，伯努利機械手吸附晶圓，把晶圓從真空卡盤上取下，並帶出工藝腔室。