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什麼是決速反應
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心理
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決速反應是指在低的晶圓片温度下,澱積速率隨温度倒數減小而增加,在此區域,工藝中的限制在於某一步反應的速率,該反應可能發生在氣相中也可能在表面。所提供的信息不足以確定氣
體是
處於化學
平衡
還是動力學控制的。
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決速
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