激光干涉儀測量旋轉軸精度原理

激光干涉儀測量回轉軸精度時，需要轉枱附件（XR20-W）配合使用，此外還需要使用角度干涉鏡。如果你使用的是有線轉枱附件（RX10），則還需要使用角度反射鏡。

測量回轉軸精度時， 第一步，需要將轉枱附件的中心，與迴轉軸中心對齊（偏差在1mm之內）。

第二步，搭好光路。

第三步，可以運行測量軟件進行測量。