低温回火又稱“消除應力回火”。回火温度範圍為150-250攝氏度,回火後的組織為回火馬氏體。鋼具有高硬度和高耐磨性,但內應力和脆性降低。主要應用於高碳鋼和高碳合金鋼製造的工具模和滾動軸承,以及經滲碳和表面淬火的零件,回火後的硬度一般為58-64HRC。