望遠鏡（目鏡及目鏡調焦螺旋物鏡物鏡調焦螺旋，照門、準星等）水準器（水準管氣泡，園水準器泡）用於全站儀精平和粗平的，水平度盤（測量水平角讀數及豎直度盤（豎直角測量讀數水平制動及微動螺旋，豎直制動及微動螺旋基座（連接板及三個腳螺旋）。
全站儀幾乎可以用在所有的測量領域。電子全站儀由電源部分、測角系統、測距系統、數據處理部分、通訊接口、及顯示屏、鍵盤等組成。
同電子經緯儀、光學經緯儀相比，全站儀增加了許多特殊部件，因此而使得全站儀具有比其它測角、測距儀器更多的功能，使用也更方便。這些特殊部件構成了全站儀在結構方面獨樹一幟的特點。
1．同軸望遠鏡全站儀的望遠鏡實現了視準軸、測距光波的發射、接收光軸同軸化。同軸化的基本原理是：在望遠物鏡與調焦透鏡間設置分光稜鏡系統，通過該系統實現望遠鏡的多功能，即既可瞄準目標，使之成像於十字絲分劃板，進行角度測量。同時其測距部分的外光路系統又能使測距部分的光敏二極管發射的調製紅外光在經物鏡射向反光稜鏡後，經同一路徑反射回來，再經分光稜鏡作用使回光被光電二極管接收為測距需要在儀器內部另設一內光路系統，通過分光稜鏡系統中的光導纖維將由光敏二極管發射的調製紅外光傳也送給光電二極管接收，進行而由內、外光路調製光的相位差間接計算光的傳播時間，計算實測距離。
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