補液器原理

補液器的原理是在定壓、流量相同條件下，通過控制補液時間來精確控制補液量，當清洗槽每清洗一批硅片後補液裝置就適時向清洗槽中補液，這就是人們所述的微量精補裝置，有了這種微量補液裝置，清洗槽中清洗液的化學濃度的變化波動值就能得到有效控制，從而提高了硅片的清洗質量。