區別如下：
1、EDX是熒光分析，EDS是能譜分析，EDXRF是能量色散型熒光X射線。
2、EDS能量色散溥儀，按能量展譜，主要器件為Li-Si半導體探測器.主要利用X光量子的能量不同來進行元素分析。
3、EDX是藉助於分析試樣發出的元素特徵X射線波長和強度實現的， 根據不同元素特徵X射線波長的不同來測定試樣所含的元素。通過對比不同元素譜線的強度可以測定試樣中元素的含量。通常EDX結合電子顯微鏡使用，可以對樣品進行微區成分分析。
EDX指的是能量散射型X射線熒光光譜儀，也有人叫EDXRF。
EDS是能譜儀。
XRF是比EDS更準確的定量。
XRF的應用
a) X射線用於元素分析，是一種新的分析技術，但在經過二十多年的探索以後，現在已完全成熟，已成為一種廣泛應用於冶金、地質、有色、建材、商檢、環保、衞生等各個領域。
b) 每個元素的特徵X射線的強度除與激發源的能量和強度有關外，還與這種元素在樣品中的含量。
c) 根據各元素的特徵X射線的強度，也可以獲得各元素的含量信息。這就是X射線熒光分析的基本原理。
優點:
a) 分析速度高。測定用時與測定精密度有關，但一般都很短，2～5分鐘就可以測完樣品中的全部待測元素。
b) X射線熒光光譜跟樣品的化學結合狀態無關，而且跟固體、粉末、液體及晶質、非晶質等物質的狀態也基本上沒有關係。（氣體密封在容器內也可分析）但是在高分辨率的精密測定中卻可看到有波長變化等現象。特別是在超軟X射線範圍內，這種效應更為顯著。波長變化用於化學位的測定。
c) 非破壞分析。在測定中不會引起化學狀態的改變，也不會出現試樣飛散現象。同一試樣可反覆多次測量，結果重現性好。
d) X射線熒光分析是一種物理分析方法，所以對在化學性質上屬同一族的元素也能進行分析。
e) 分析精密度高。
f) 制樣簡單，固體、粉末、液體樣品等都可以進行分析。
缺點：
a）難於作絕對分析，故定量分析需要標樣。
b）對輕元素的靈敏度要低一些。
c）容易受相互元素干擾和疊加峯影響。
其實是一樣的，但是美國人一般叫EDS，英國人一般叫EDX，國內叫EDS的多。
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