半導體薄膜工藝的重要性

由於半導體制造是在硅片上加工出各種微觀結構，因此除了原始的硅基材料外還需要通過薄膜“加法”引入非硅材料（如非硅介質層、金屬層）實現不同功能。

除添加新材料外，薄膜工藝還具有隔離保護高活性材料，防止污染和腐蝕。

薄膜工藝也會承擔一部分光阻的職能，常用於產生提高吸光率的減反射膜、硬掩模等。